T/CSTM 01148-2024 电子级氨水

领域
本文件划定了电子级氨水的分级与定名、技术要求、试验步骤、检验规定、标志、包装、运输、贮存和随行文件、安全信息。。。。。。。
本文件合用于以工业级液氨和超纯水为原料，，，，，，经纯化造得的电子级氨水。。。。。。。重要用作集成电路(半导体)、印刷电路板等造程用化学品。。。。。。。
CAS号：1336-21-6
分子式：NH3·H2O
相对分子质量：35.05(按2022年国际相对原子质量)

术语和界说
本文件没有必要界定的术语和界说。。。。。。。

分级及定名
电子级氨水分为I级、II级和III级共3个等级。。。。。。。I级电子级氨水象征为：UP-I；；；；；；；II级电子级氨水象征为：UP-II；；；；；；；III级电子级氨水象征为：UP-III。。。。。。。
注：UP-II级和UP-III级重要用于半导体通例造程及高造程面板行业，，，，，，UP-I级重要用于半导体先进造程行业。。。。。。。

技术要求
电子级氨水的技术指标应切合表1的划定。。。。。。。






试验步骤
氨含量的测定
步骤撮要
选取电位滴定法，，，，，，用盐酸尺度滴定溶液滴定样品中的氨。。。。。。。
试剂和资料
盐酸尺度滴定溶液：c(HCl)≈0.5mol/L。。。。。。。
仪器和设备
分析天平：感量为0.0001g。。。。。。。
电位滴定仪：按 GB/T 9725-2007，，，，，，5, 仪器和装置中划定，，，，，，或具备一致机关与精度的仪器。。。。。。。电极：按 GB/T 9725-2007 中划定的复合电极或玻璃-鼓和甘汞电极。。。。。。。
测定步骤
量取60mL水于烧杯中，，，，，，称取约1g的样品(精确至0.0001g)，，，，，，用盐酸尺度滴定溶液滴定，，，，，，电位随滴定剂变动率dU/dV最大点为其滴定终点。。。。。。。
了局推算
氨(NH₃)含量(w)，，，，，，按式(1)推算，，，，，， 数值均以%暗示：

式中：
V ——滴定试验溶液所亏损盐酸尺度滴定溶液的体积数值，，，，，，单元为毫升(mL)；；；；；；；
C ——盐酸尺度滴定溶液浓度的正确数值，，，，，，单元为摩尔每升(mol/L)；；；；；；；
M ——氨水摩尔质量的数值，，，，，，单元为克每摩尔(g/mo])[M(NH3)=17.03]；；；；；；；
m ——试样质量的数值，，，，，，单元为克(g)。。。。。。。


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