技术文章
T/FJAS 002-2024 湿电子化学品 再生光阻洗净液
领域
本文件划定了再生光阻洗净液的技术要求、试验步骤、检验规定及标志、包装、运输和贮存。。。。。。。。
本文件合用于以湿电子化学品格业含光阻洗净液回收液为原料,,,,,,,,经过提纯的光阻洗净液再出产品(以下简称产品),,,,,,,,重要用于显示面板造作行业等。。。。。。。。
术语和界说
下列术语和界说合用于本文件。。。。。。。。
湿电子化学品 wet chemicals
湿电子化学品又称超净高纯电子化学品,,,,,,,,是微电子、光电子湿法工艺(重要蕴含湿法刻蚀、洗濯、显影、剥离等环节)中使用的各类液体化工资料。。。。。。。。
光阻洗净液 Light blocking cleaning solution
光阻去除液、洗濯剂,,,,,,,,重要成分丙二醇甲醚(PM)和丙二醇甲醚醋酸酯(PMA)。。。。。。。。
回收液 Iiquid recycIing
重要含重要丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯,,,,,,,,以及少量其它有机溶剂、光刻胶、水、金属离子等。。。。。。。。
技术要求
产品的技术指标应切合表1的要求。。。。。。。。
试验步骤
水分的测定
按 GB/T 6283 的划定进行测定。。。。。。。。
GB/T 6283-2008 化工产品中水分含量的测定 卡尔·费休法(通用步骤)
京都电子KEM 卡尔费休水分测定仪 MKV-710S
http://www.kem-china.com/index.php?_m=mod_product&_a=view&p_id=997
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