SJ/T 11508-2015 集成电路用正胶显影液

领域
本尺度划定了集成电路用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验步骤、检验规定和包装、标志、贮存、运输。。。。。。。
本尺度合用于集成电路用正胶显影液，，，，，，，以下简称正胶显影液。。。。。。。
本尺度不涉及使用安全性问题。。。。。。。本尺度的使用人应掌管成立适当的安全健全条款及使用领域的限度。。。。。。。

术语
超纯硝酸  ultrapure nitric acid
金属离子含量不大于1μg/L的硝酸。。。。。。。

性状和技术要求
性状
本试剂为无色通明有剌激性氨味的碱性液体，，，，，，，为四甲基氢氧化铵的水溶液，，，，，，，四甲基氢氧化铵含量允许相对误差为±1.0%。。。。。。。

技术要求
正胶显影液技术要求应切合表1的划定:






试验步骤
显影液含量测定
试剂
盐酸尺度滴定溶液: c(HCl)=0.1mol/L。。。。。。。
仪器和设备
自动电位滴定仪: 配酸碱滴定电极。。。。。。。
测定步骤
称取适量样品于滴定杯中，，，，，，，精确至0.0001g，，，，，，，参与40mL纯水，，，，，，，依照自动电位滴定仪操作规程测定显影液含量。。。。。。。
两次平行测定了局相对误差不大于0.5%，，，，，，，取其算术均匀值为测定了局。。。。。。。


京都电子KEM 自动电位滴定仪 AT-710S
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